 hecl
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58b65c3ff0
VenusSE Simulator PM Update
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vor 1 Jahr |
 zhouhr
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08029e238d
update Venus SE pick place && drivers of HongHu deivce && ui
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vor 1 Jahr |
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hecl
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2aa32f8ae4
fix bugs
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vor 1 Jahr |
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hecl
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5396e84cfe
VenusSE TM io simulator update
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vor 1 Jahr |
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hecl
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afc3b9494f
VenusSE TM pressurecontrol update
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vor 1 Jahr |
 Intern01
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dfc9174ac8
VenusSE TM PM Simulator Update
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vor 1 Jahr |
 lixiang
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5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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b1e6a9ce63
bug提交
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vor 1 Jahr |
 sangwq
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052baa3ed3
fix the clear error command confirm sequence problem and PM pressure bug.
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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56f7c900fe
add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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9f512c69c9
优化efem动画
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vor 1 Jahr |
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Intern01
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987f0abae5
1.Slove TuroN2Flow don't show problem
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
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vor 1 Jahr |
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Intern01
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211accc82b
PMD&Simulator update
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vor 1 Jahr |
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Intern01
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b7129c8da5
PM&Simulator update
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vor 1 Jahr |
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Intern01
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41052afc3b
recipeviewmodel uodate && simulator update
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vor 1 Jahr |
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Intern01
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b1f52bbe8a
Simulator PMC update
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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b96ac701fb
1.添加TM Simulator
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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4ffafb6001
EFEM界面优化
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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546436c2c7
模拟器读取chamber bug修改
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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e52d3832a4
模拟器chamber选择由手动改动变为都rt配置文件
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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8f80478982
1.添加IoSwitch
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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dff905345f
增加PMB的兼容
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vor 2 Jahren |
