lixiang 38b40b702d 1.修复all in all out 不做cooling bug пре 4 месеци
..
EFEMAlignRoutine.cs 38b40b702d 1.修复all in all out 不做cooling bug пре 4 месеци
EfemEntity.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 пре 5 месеци
EfemHomeRoutine.cs 4f7a01400f fix the sync issue for efem socket. пре 11 месеци
EfemPickRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 пре 10 месеци
EfemPlaceRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 пре 10 месеци
EfemSwapRoutine.cs 5687e44ebc Enhance routing algorithm. пре 8 месеци
sysdiag-all-5.0.75.6-2024.06.24.1.exe 5ce110574e 1,添加cooling功能 пре 9 месеци