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EFEM
lixiang
38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
4 月之前
..
EFEMAlignRoutine.cs
38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
4 月之前
EfemEntity.cs
add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息
5 月之前
EfemHomeRoutine.cs
4f7a01400f
fix the sync issue for efem socket.
11 月之前
EfemPickRoutine.cs
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路
10 月之前
EfemPlaceRoutine.cs
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路
10 月之前
EfemSwapRoutine.cs
5687e44ebc
Enhance routing algorithm.
8 月之前
sysdiag-all-5.0.75.6-2024.06.24.1.exe
5ce110574e
1,添加cooling功能
9 月之前