| .. |
|
EFEMAlignRoutine.cs
|
38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
|
10 kuukautta sitten |
|
EfemEntity.cs
|
add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID，Process History 切recipe 保留原查询信息
|
11 kuukautta sitten |
|
EfemHomeRoutine.cs
|
4f7a01400f
fix the sync issue for efem socket.
|
1 vuosi sitten |
|
EfemPickRoutine.cs
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
|
1 vuosi sitten |
|
EfemPlaceRoutine.cs
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
|
1 vuosi sitten |
|
EfemSwapRoutine.cs
|
5687e44ebc
Enhance routing algorithm.
|
1 vuosi sitten |
|
sysdiag-all-5.0.75.6-2024.06.24.1.exe
|
5ce110574e
1，添加cooling功能
|
1 vuosi sitten |
lixiang
38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug