lixiang 38b40b702d 1.修复all in all out 不做cooling bug преди 8 месеца
..
EFEMAlignRoutine.cs 38b40b702d 1.修复all in all out 不做cooling bug преди 8 месеца
EfemEntity.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 преди 9 месеца
EfemHomeRoutine.cs 4f7a01400f fix the sync issue for efem socket. преди 1 година
EfemPickRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 1 година
EfemPlaceRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 1 година
EfemSwapRoutine.cs 5687e44ebc Enhance routing algorithm. преди 1 година
sysdiag-all-5.0.75.6-2024.06.24.1.exe 5ce110574e 1,添加cooling功能 преди 1 година