lixiang 38b40b702d 1.修复all in all out 不做cooling bug преди 4 месеца
..
EFEMAlignRoutine.cs 38b40b702d 1.修复all in all out 不做cooling bug преди 4 месеца
EfemEntity.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 преди 5 месеца
EfemHomeRoutine.cs 4f7a01400f fix the sync issue for efem socket. преди 11 месеца
EfemPickRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 10 месеца
EfemPlaceRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 10 месеца
EfemSwapRoutine.cs 5687e44ebc Enhance routing algorithm. преди 8 месеца
sysdiag-all-5.0.75.6-2024.06.24.1.exe 5ce110574e 1,添加cooling功能 преди 9 месеца