| .. |
|
EventDefine.cs
|
a5245356d0
source files
|
преди 2 години |
|
GasBoxLeakCheckRoutine.cs
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
преди 1 година |
|
GasFlowRoutine.cs
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
преди 1 година |
|
LLPickRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
преди 1 година |
|
LLPlaceRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
преди 1 година |
|
LoadLockLeakCheckRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
преди 1 година |
|
LoadLockPumpRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
преди 1 година |
|
LoadLockPurgeRoutine.cs
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
преди 1 година |
|
LoadLockVentRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
преди 1 година |
|
PMControlPressureRoutine.cs
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
преди 1 година |
|
PMEntity.cs
|
8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
|
преди 1 година |
|
PMGasVerificationRoutine.cs
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
преди 1 година |
|
PMGaslinePurgeRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
преди 1 година |
|
PMHeatRoutine.cs
|
c8af7de363
将kepler与Venus UI配置分开，添加Heat Routine
|
преди 1 година |
|
PMHomeRoutine.cs
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
преди 1 година |
|
PMLeakCheckRoutine.cs
|
9de8ce9b11
Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update
|
преди 1 година |
|
PMPartialPressureRoutine.cs
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
преди 1 година |
|
PMProcessRoutine.cs
|
8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
|
преди 1 година |
|
PMProcess_FA.cs
|
563a30f852
1、add recipe event notify;
|
преди 1 година |
|
PMPurgeRoutine.cs
|
9de8ce9b11
Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update
|
преди 1 година |
|
PMRoutineBase.cs
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
преди 1 година |
|
PMVATPerformanceRoutine.cs
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
преди 1 година |
|
Process.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
преди 2 години |
|
ProcessDefine.cs
|
f62e761ad2
修复小标题efem online/offline报警bug
|
преди 1 година |
|
PumpDownRoutine.cs
|
0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
|
преди 1 година |
|
RFPowerSwitchRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
преди 1 година |
|
StartDryPumpRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
преди 1 година |
|
StartTurboPumpRoutine.cs
|
9de8ce9b11
Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update
|
преди 1 година |
|
VentRoutine.cs
|
f9d4a74265
1.Venus DE/SE Gasverification add missing pipes
|
преди 1 година |
|
VenusRecipeFileContext.cs
|
7d93bf0076
Job Clean function, not finished.
|
преди 1 година |
|
VenusSequenceFileContext.cs
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
преди 1 година |
|
VirgoRecipeFileContext.cs
|
896c7407de
优化log功能
|
преди 2 години |
|
VirgoSequenceFileContext.cs
|
896c7407de
优化log功能
|
преди 2 години |
