 sangwq
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501997ac38
TM/EFEM robot single arm option.
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1 年間 前 |
 lixiang
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379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
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1 年間 前 |
 zhouhr
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038e0b984a
1.Add LL pump preemptive lock
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1 年間 前 |
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lixiang
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5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
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1 年間 前 |
 Intern01
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261ef38430
solve errors in TMRobot Action&& update Serial ports in simulator
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1 年間 前 |
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lixiang
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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1 年間 前 |
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Intern01
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c5abe7c813
Simulator Communication Port Update
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1 年間 前 |
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lixiang
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124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
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1 年間 前 |
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lixiang
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708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
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1 年間 前 |
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Intern01
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211accc82b
PMD&Simulator update
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1 年間 前 |
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sangwq
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344d734fff
ATM Transfer.
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1 年間 前 |
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zhouhr
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c8ec52ec1e
修复下手臂无法右键的问题
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1 年間 前 |
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zhouhr
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1408b6822f
增加return wafer的Dialog、右键wafer的菜单项return wafer
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1 年間 前 |
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lixiang
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b6acfe2e29
优化TM leak check功能
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1 年間 前 |
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lixiang
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72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
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1 年間 前 |
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lixiang
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f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
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1 年間 前 |
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lixiang
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b96ac701fb
1.添加TM Simulator
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1 年間 前 |
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lixiang
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edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
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1 年間 前 |
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lixiang
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4ffafb6001
EFEM界面优化
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1 年間 前 |
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sangwq
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7b98756c26
兼容新旧 Endpoint, 未完成
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1 年間 前 |
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lixiang
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bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
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1 年間 前 |
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lixiang
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be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
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1 年間 前 |
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lixiang
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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1 年間 前 |
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lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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1 年間 前 |
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lixiang
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072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
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1 年間 前 |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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1 年間 前 |
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lixiang
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ec1eeba67c
添加数据分析界面
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1 年間 前 |
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sangwq
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39dd3fa41f
Enable Com debug log.
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1 年間 前 |
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sangwq
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2663cfc1d9
Add place/pick delay.
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1 年間 前 |
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sangwq
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dff905345f
增加PMB的兼容
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1 年間 前 |
