 zhouhr
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efafd434f0
save only the last 200 entries in simulator's logs && add some key in UI
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vor 1 Jahr |
 lixiang
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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vor 1 Jahr |
 sangwq
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2fb8490f3a
Update TM software interlock about Loadlock slit door open issue.
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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8f80478982
1.添加IoSwitch
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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241a8a2f5d
UPDATE 20230324
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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e1226fdd9e
update for disable difference pressure checking under atm mode according electrical team request.
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vor 2 Jahren |
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lixiang
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b6c2517c51
1.添加加热功能
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vor 2 Jahren |
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lixiang
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60d08c1285
1.ui与rt联动功能添加
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vor 2 Jahren |
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lixiang
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bad994820a
添加PM与部分loadlock与rt交互功能
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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4e8a55f733
Endpoint Module.
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vor 2 Jahren |
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lixiang
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da4e6f6a4e
Recipe功能完善
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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847220c6ce
update for initial recipe design
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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8f2e8686aa
VenusDevice.cs
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vor 2 Jahren |
