hecl c1ae6b6ea1 1.Fix Chamber DE recipe process bugs před 11 měsíci
..
EventDefine.cs a5245356d0 source files před 2 roky
Fdc.cs d33079596b 1.优化新版跑片动画 před 11 měsíci
GasBoxLeakCheckRoutine.cs d95b8c7876 cancel Open PVN22 in SE,DE && add VenusVentRoutine && fix the bug in GasBoxLeakCheck && Change Logic in pumpdown&Vent in SE,DE před 1 rokem
GasFlowRoutine.cs c332b95d39 venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function před 1 rokem
LLPickRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug před 11 měsíci
LLPlaceRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug před 11 měsíci
LoadLockLeakCheckRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug před 11 měsíci
LoadLockPumpRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug před 11 měsíci
LoadLockPurgeRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug před 11 měsíci
LoadLockVentRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug před 11 měsíci
PMEntity.cs c1ae6b6ea1 1.Fix Chamber DE recipe process bugs před 11 měsíci
PMGasVerificationRoutine.cs 6dc3e20037 添加Mfc calibration 流气后,等待钟摆阀完全关闭的step před 1 rokem
PMGaslinePurgeRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. před 1 rokem
PMHeatRoutine.cs c8af7de363 将kepler与Venus UI配置分开,添加Heat Routine před 1 rokem
PMHomeRoutine.cs c332b95d39 venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function před 1 rokem
PMLeakCheckRoutine.cs 9de8ce9b11 Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update před 1 rokem
PMPartialPressureRoutine.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl před 1 rokem
PMProcessRoutine.cs c1ae6b6ea1 1.Fix Chamber DE recipe process bugs před 11 měsíci
PMProcess_FA.cs 774c804aa9 fixed pm event occurs carrierid is null před 1 rokem
PMPurgeRoutine.cs 9de8ce9b11 Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update před 1 rokem
PMRoutineBase.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl před 1 rokem
PMVATPerformanceRoutine.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl před 1 rokem
Process.cs 3cad102221 更新 RT před 2 roky
ProcessDefine.cs c1ae6b6ea1 1.Fix Chamber DE recipe process bugs před 11 měsíci
PumpDownRoutine.cs 608cf43d67 1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行 před 11 měsíci
RFPowerSwitchRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. před 1 rokem
StartDryPumpRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. před 1 rokem
StartTurboPumpRoutine.cs 9de8ce9b11 Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update před 1 rokem
VentRoutine.cs d33079596b 1.优化新版跑片动画 před 11 měsíci
VenusRecipeFileContext.cs 7d93bf0076 Job Clean function, not finished. před 1 rokem
VenusSequenceFileContext.cs 8cf03142ec Add the PreClean,PostClean in SequenceInfo && Add DESequenceFormat.xml for Sequence && Add Venus DETM IO && fix VCEA pump Open in UI před 11 měsíci
VenusVentRoutine.cs 0a2d5ac547 Venus DE TM simulator add před 11 měsíci
VirgoRecipeFileContext.cs 896c7407de 优化log功能 před 2 roky
VirgoSequenceFileContext.cs 896c7407de 优化log功能 před 2 roky