 lixiang
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b1e6a9ce63
bug提交
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1 年之前 |
 sangwq
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052baa3ed3
fix the clear error command confirm sequence problem and PM pressure bug.
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1 年之前 |
 zhouhr
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56f7c900fe
add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0
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1 年之前 |
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lixiang
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9f512c69c9
优化efem动画
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1 年之前 |
 Intern01
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987f0abae5
1.Slove TuroN2Flow don't show problem
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1 年之前 |
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lixiang
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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1 年之前 |
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lixiang
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708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
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1 年之前 |
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Intern01
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211accc82b
PMD&Simulator update
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1 年之前 |
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Intern01
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b7129c8da5
PM&Simulator update
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1 年之前 |
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Intern01
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41052afc3b
recipeviewmodel uodate && simulator update
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1 年之前 |
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Intern01
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b1f52bbe8a
Simulator PMC update
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1 年之前 |
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lixiang
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72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
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1 年之前 |
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lixiang
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28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
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1 年之前 |
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lixiang
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b96ac701fb
1.添加TM Simulator
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1 年之前 |
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lixiang
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4ffafb6001
EFEM界面优化
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1 年之前 |
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lixiang
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bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
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1 年之前 |
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lixiang
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546436c2c7
模拟器读取chamber bug修改
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1 年之前 |
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lixiang
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e52d3832a4
模拟器chamber选择由手动改动变为都rt配置文件
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1 年之前 |
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lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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1 年之前 |
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lixiang
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8f80478982
1.添加IoSwitch
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1 年之前 |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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1 年之前 |
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lixiang
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a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
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1 年之前 |
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sangwq
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dff905345f
增加PMB的兼容
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2 年之前 |
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lixiang
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280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
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2 年之前 |
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lixiang
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39fe214261
1.完善PartialPressure 功能
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2 年之前 |
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sangwq
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a54944a308
PM TM Wafer Transfer Ready.
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2 年之前 |
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sangwq
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bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
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2 年之前 |
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lixiang
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62f1a16025
1.添加PartialPressure界面
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2 年之前 |
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sangwq
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b8bd250b4e
TM/LL Pump/Vent/Purge done.
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2 年之前 |
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sangwq
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241a8a2f5d
UPDATE 20230324
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2 年之前 |
