 sangwq
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f216c69fcf
Enhance AutoCycle Module.
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1 年間 前 |
 lixiang
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afb706578a
添加CycleCount/WaferCount显示
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1 年間 前 |
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lixiang
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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1 年間 前 |
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sangwq
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c223835b1e
enhance AutoCycle module.
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1 年間 前 |
 Intern01
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73729331e4
Simulator Device Update
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1 年間 前 |
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Intern01
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c5abe7c813
Simulator Communication Port Update
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1 年間 前 |
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sangwq
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2fb8490f3a
Update TM software interlock about Loadlock slit door open issue.
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1 年間 前 |
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lixiang
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9c46c55950
解决冲突
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1 年間 前 |
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lixiang
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124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
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1 年間 前 |
 zhouhr
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bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
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1 年間 前 |
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Intern01
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60e9a04892
Simulator LP3 Update
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1 年間 前 |
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lixiang
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708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
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1 年間 前 |
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Intern01
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211accc82b
PMD&Simulator update
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1 年間 前 |
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zhouhr
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296cd4b8a4
1、recipe页面chuck、dechuck选项名称缩略并设置最大最小长度
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1 年間 前 |
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sangwq
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344d734fff
ATM Transfer.
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1 年間 前 |
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lixiang
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aad749230c
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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1 年間 前 |
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lixiang
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cb91599d02
修复recipe Ui信息显示
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1 年間 前 |
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zhouhr
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2bcfec21f1
修改以兼容kepler2300 recipe 修改recipe界面中chuck dechuck出现的时机 补充选项中的空值
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1 年間 前 |
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lixiang
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bb6f18ea1a
修改配置文件名，合并代码
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1 年間 前 |
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Intern01
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b7129c8da5
PM&Simulator update
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1 年間 前 |
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zhouhr
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c8ec52ec1e
修复下手臂无法右键的问题
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1 年間 前 |
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zhouhr
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1408b6822f
增加return wafer的Dialog、右键wafer的菜单项return wafer
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1 年間 前 |
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sangwq
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6a29fad5f9
update for unload/PMleakcheck bugs
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1 年間 前 |
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sangwq
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ff17e9c447
develop autycylce/manualmove module.
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1 年間 前 |
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zhouhr
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f56f80e34a
完善UI 拖片 LP的job显示效果、传参 修改Robot槽位显示效果 TM数据绑定 return wafer等
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1 年間 前 |
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Intern01
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41052afc3b
recipeviewmodel uodate && simulator update
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1 年間 前 |
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zhouhr
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ba61077913
增加拖片功能
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1 年間 前 |
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Intern01
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f845cd22f1
TMInterlock Update
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1 年間 前 |
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Intern01
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646fbf3676
PMProcessRoutine update
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1 年間 前 |
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sangwq
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8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
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1 年間 前 |
