 hecl
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58b65c3ff0
VenusSE Simulator PM Update
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vor 1 Jahr |
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hecl
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afc3b9494f
VenusSE TM pressurecontrol update
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vor 1 Jahr |
 zhouhr
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b9a935138d
add vpa vce simulator && update honghuvce driver,SETMEntity,seTMEntity pick place home routine && update VenusSEoverviewmodel......
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vor 1 Jahr |
 Intern01
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dfc9174ac8
VenusSE TM PM Simulator Update
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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1e7c808d19
add VenusSE tm related module in ui rt simulator && fix efem backround bug
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vor 1 Jahr |
 lixiang
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5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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bc73e24685
Add the Monitor of Venus_UI && Add the Status Of DatabaseManager
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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4e5194bce2
add Analysis of EFEM Hardware Error Codes && Monitor of Current Application Resources
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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56f7c900fe
add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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b5616b7378
解决冲突，合并代码
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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efafd434f0
save only the last 200 entries in simulator's logs && add some key in UI
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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a980a39acf
add read delay in IoCylinder && add unknown error codes with VPA driver && add VceEntity
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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038e0b984a
1.Add LL pump preemptive lock
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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vor 1 Jahr |
 sangwq
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ff17e9c447
develop autycylce/manualmove module.
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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b6acfe2e29
优化TM leak check功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
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vor 1 Jahr |
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Intern01
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aaff066e93
EFEM Align UI RT 更新
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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68c484e4c3
兼容去胶机使用的Endpoint.
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
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vor 1 Jahr |
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Intern01
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c8473cb60c
1.增加Fa模块事件上报相关接口FaEvet，与recipejob,loadportjob事件上报接口
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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530ddcbae7
优化topview界面
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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8f80478982
1.添加IoSwitch
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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f211c4242f
Efem module raw design.
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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44ec74603f
TM Transfer
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vor 2 Jahren |
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sangwq
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a54944a308
PM TM Wafer Transfer Ready.
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vor 2 Jahren |
