 hecl
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2ffdf6e535
1Venus DE LinerDoor update
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hai 1 ano |
 lixiang
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2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
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hai 1 ano |
 zhouhr
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136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
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hai 1 ano |
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zhouhr
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9d9b666ea4
Venus SE Update
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hai 1 ano |
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lixiang
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6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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hai 1 ano |
 sangwq
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dbb753dd44
Pause functionality.
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hai 1 ano |
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lixiang
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6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
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hai 1 ano |
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zhouhr
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31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
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hai 1 ano |
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lixiang
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41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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894ff76d5e
online/offline tobview状态颜色变化
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hai 1 ano |
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zhouhr
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1e7c808d19
add VenusSE tm related module in ui rt simulator && fix efem backround bug
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hai 1 ano |
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zhouhr
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efafd434f0
save only the last 200 entries in simulator's logs && add some key in UI
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hai 1 ano |
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lixiang
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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hai 1 ano |
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sangwq
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2fb8490f3a
Update TM software interlock about Loadlock slit door open issue.
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hai 1 ano |
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lixiang
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124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
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hai 1 ano |
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lixiang
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28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
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hai 1 ano |
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lixiang
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edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
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hai 1 ano |
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lixiang
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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hai 1 ano |
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lixiang
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8f80478982
1.添加IoSwitch
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hai 1 ano |
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lixiang
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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241a8a2f5d
UPDATE 20230324
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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e1226fdd9e
update for disable difference pressure checking under atm mode according electrical team request.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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b6c2517c51
1.添加加热功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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60d08c1285
1.ui与rt联动功能添加
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lixiang
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bad994820a
添加PM与部分loadlock与rt交互功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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4e8a55f733
Endpoint Module.
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lixiang
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da4e6f6a4e
Recipe功能完善
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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847220c6ce
update for initial recipe design
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
