 lixiang
|
ed7c537c19
1.添加TM/LLA/LLB 平衡阀
|
1 год назад |
 zhouhr
|
13460815b8
add PM ALARM_Notify while PM sensor Alarm && add TMBase for SETM&&DETM && add HongHuDETM For DE && fix some bugs in DETMUI
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
b0e5581d4e
delete some item in SE Config && add WallChiller in DE && add ConfigItem for pump check ForelinePressure in every chambertype
|
1 год назад |
 hecl
|
2ffdf6e535
1Venus DE LinerDoor update
|
1 год назад |
|
lixiang
|
2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
9d9b666ea4
Venus SE Update
|
1 год назад |
|
lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 год назад |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 год назад |
 sangwq
|
dbb753dd44
Pause functionality.
|
1 год назад |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
894ff76d5e
online/offline tobview状态颜色变化
|
лет назад: 2 |
|
zhouhr
|
1e7c808d19
add VenusSE tm related module in ui rt simulator && fix efem backround bug
|
лет назад: 2 |
|
zhouhr
|
efafd434f0
save only the last 200 entries in simulator's logs && add some key in UI
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
2fb8490f3a
Update TM software interlock about Loadlock slit door open issue.
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
8f80478982
1.添加IoSwitch
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
241a8a2f5d
UPDATE 20230324
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
e1226fdd9e
update for disable difference pressure checking under atm mode according electrical team request.
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
60d08c1285
1.ui与rt联动功能添加
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
bad994820a
添加PM与部分loadlock与rt交互功能
|
лет назад: 2 |
