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yangdb hat auf master in JetPlasma/Virgo_Mask gepusht

vor 1 Tag

yangdb hat auf master in JetPlasma/Virgo_Mask gepusht

  • 717c537b05 1.FDC EfemRobot Buffer liftpin 的ServoWorkMode隐藏

vor 2 Tagen

yangdb hat auf master in JetPlasma/Virgo_ST gepusht

vor 2 Tagen

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  • 5b072851b4 1.去掉MFC Verification 2.隐藏了role header

vor 2 Tagen

yangdb hat auf master in JetPlasma/Virgo_Mask gepusht

vor 2 Wochen

yangdb hat auf master in JetPlasma/Virgo_Mask gepusht

  • 339af868f1 1.修改单位mtorr 2.修改IO信号 3.导出列表按钮改成英语 4.Message.

vor 2 Wochen

yangdb hat auf master in JetPlasma/Virgo_Mask gepusht

  • f92e4e963f 1.修改efem界面，把Aligner1 改成 Aligner，buffer改成cooling 2.return wafer，增加是否经过cooling以及cooling时间

vor 3 Wochen

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  • ff5db94875 1.增加IO信号，修改报警过程

vor 3 Wochen

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vor 3 Wochen

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vor 4 Wochen

yangdb hat auf master in JetPlasma/Virgo_Mask gepusht

vor 1 Monat

yangdb hat auf master in JetPlasma/Virgo_Mask gepusht

  • ef6f73344e 1.增加单臂，双臂，Ignore Ionizer error， gas1~5 warning range and time ，双轴伺服pos diff 配置 2.增加DI_Lift_Servo_Group_Current_Pos_DIff_Alarm报警信号以及AO_Lift_Servo_Group_ABS_POS_Diff 信号默认值设置 3.模拟器相应的修改

vor 1 Monat

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vor 1 Monat

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  • fca2bab62f 1.修改双轴电机回到原点的条件

vor 1 Monat

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vor 1 Monat

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vor 2 Monaten

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  • 5b5945bffa 1.把系统配置中文改成英语 2.修改禁用LP 3.修改禁用手臂，return wafer 报错

vor 2 Monaten

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  • 86c5f43f5e 修改SignalTower.xml IsAutoIdle I字母写错了

vor 3 Monaten

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vor 3 Monaten

yangdb hat auf master in JetPlasma/Virgo_ST gepusht

vor 3 Monaten