lixiang 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 hace 1 año
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AdLinkEthercat ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData hace 1 año
EFEM d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称,chamberTYpe 比对 hace 1 año
EPD c3ef1d5a6e Wafer loadlock delay function. hace 1 año
EPDs 4ffafb6001 EFEM界面优化 hace 1 año
IODevices b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement hace 1 año
PreAligner 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. hace 1 año
SMIF 8436daeb68 Eliminate SE generation warning. hace 1 año
TM 68754c24af 1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock hace 1 año
VCE 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. hace 1 año
AIRSYSChiller.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType hace 1 año
AdTecRF.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 hace 1 año
AdixenTurboPump.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 hace 1 año
CometRF.cs 709c7a1c10 fixed the routing bug while B In B Out. hace 1 año
DataDefine.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement hace 1 año
DeviceManager.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 hace 1 año
ESC5HighVoltage.cs 552d60ca99 1.Stable与Tolerance 功能优化 hace 1 año
EdwardsPump.cs be22c5112d TM 添加两个pump 串口23/24/25/26 hace 1 año
FinsPlc.cs c457973fa2 1.添加Revtech Match hace 1 año
JetEPDBase.cs 4ffafb6001 EFEM界面优化 hace 1 año
JetEfem.cs 5fc13b3f0c New Efem design hace 1 año
JetKepler2200APM.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 hace 1 año
JetKepler2200BPM.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 hace 1 año
JetKepler2300PM.cs 552d60ca99 1.Stable与Tolerance 功能优化 hace 1 año
JetPMBase.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement hace 1 año
JetVenusDEPM.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement hace 1 año
JetVenusSEPM.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement hace 1 año
JetVenusSEPMBase.cs 56f7c900fe add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0 hace 1 año
LzMatch_Ethercat.cs 6d6f659b77 1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa,添加工艺结束,等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能 hace 1 año
PendulumValve.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 hace 1 año
PlasmaController.cs 75710d35d8 RF Match. hace 2 años
RevtechMatch.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 hace 1 año
SMCChiller.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 hace 1 año
SkyPump.cs 44fc6989ef 1、Remove FabConnect dll file; hace 1 año
TruPlasmaRF.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement hace 1 año
TruPlasmaRF_Ethercat.cs 7ff42d4eca 1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能,c1/c2小于offset不设置 hace 1 año
VirgoSignalTower.cs 0f905564d0 加入登录界面和权限管理 hace 1 año