lixiang 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 před 1 rokem
..
AdLinkEthercat ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData před 1 rokem
EFEM d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称,chamberTYpe 比对 před 1 rokem
EPD c3ef1d5a6e Wafer loadlock delay function. před 1 rokem
EPDs 4ffafb6001 EFEM界面优化 před 1 rokem
IODevices b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement před 1 rokem
PreAligner 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. před 1 rokem
SMIF 8436daeb68 Eliminate SE generation warning. před 1 rokem
TM 68754c24af 1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock před 1 rokem
VCE 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. před 1 rokem
AIRSYSChiller.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType před 1 rokem
AdTecRF.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 před 1 rokem
AdixenTurboPump.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 před 1 rokem
CometRF.cs 709c7a1c10 fixed the routing bug while B In B Out. před 1 rokem
DataDefine.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement před 1 rokem
DeviceManager.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 před 1 rokem
ESC5HighVoltage.cs 552d60ca99 1.Stable与Tolerance 功能优化 před 1 rokem
EdwardsPump.cs be22c5112d TM 添加两个pump 串口23/24/25/26 před 1 rokem
FinsPlc.cs c457973fa2 1.添加Revtech Match před 1 rokem
JetEPDBase.cs 4ffafb6001 EFEM界面优化 před 1 rokem
JetEfem.cs 5fc13b3f0c New Efem design před 1 rokem
JetKepler2200APM.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 před 1 rokem
JetKepler2200BPM.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 před 1 rokem
JetKepler2300PM.cs 552d60ca99 1.Stable与Tolerance 功能优化 před 1 rokem
JetPMBase.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement před 1 rokem
JetVenusDEPM.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement před 1 rokem
JetVenusSEPM.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement před 1 rokem
JetVenusSEPMBase.cs 56f7c900fe add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0 před 1 rokem
LzMatch_Ethercat.cs 6d6f659b77 1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa,添加工艺结束,等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能 před 1 rokem
PendulumValve.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 před 1 rokem
PlasmaController.cs 75710d35d8 RF Match. před 2 roky
RevtechMatch.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 před 1 rokem
SMCChiller.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 před 1 rokem
SkyPump.cs 44fc6989ef 1、Remove FabConnect dll file; před 1 rokem
TruPlasmaRF.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement před 1 rokem
TruPlasmaRF_Ethercat.cs 7ff42d4eca 1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能,c1/c2小于offset不设置 před 1 rokem
VirgoSignalTower.cs 0f905564d0 加入登录界面和权限管理 před 1 rokem