 hecl
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b7ebfa6adf
Add Tru match release stop mode command
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hai 1 ano |
 zhouhr
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16530979b1
DE pendulum set pressure/10 as the difference between SE and DE.
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hecl
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21d202af0e
Add VenusDE WallChiller UI & ViewModel
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hai 1 ano |
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zhouhr
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b0e5581d4e
delete some item in SE Config && add WallChiller in DE && add ConfigItem for pump check ForelinePressure in every chambertype
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zhouhr
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cc436f1ac6
add DE shareChiller && add check items before PM Pump down.
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hai 1 ano |
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hecl
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fedcc95273
1.Venus DE process enhance
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hai 1 ano |
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hecl
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7fe748b93a
1.Add Venus DE processdefine content
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hai 1 ano |
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hecl
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f501000473
1.Fix Tru RF/match bugs
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hai 1 ano |
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hecl
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9d28f8ee7d
1.Add Tru match
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hai 1 ano |
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hecl
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b3a13fc6c7
1.IoMagnet device Logical supplement
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 lixiang
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552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
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hecl
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0b8a98a845
IoDevice IoMagnet Add
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hai 1 ano |
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hecl
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8b0b067448
Add chamber ISO valve status
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hecl
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68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
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lixiang
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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hecl
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c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
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hai 1 ano |
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hecl
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945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
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hai 1 ano |
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hecl
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2ffdf6e535
1Venus DE LinerDoor update
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hecl
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f9d4a74265
1.Venus DE/SE Gasverification add missing pipes
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hecl
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9de8ce9b11
Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update
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hai 1 ano |
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hecl
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1b165a2e61
Venus DE update && Venus SE simulator update
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hecl
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df4447c2d2
PMhomeRoutine add VenusDE chambertype
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hai 1 ano |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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lixiang
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fd2d6f9a5c
解决冲突
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hai 1 ano |
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hecl
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e2c4a51efe
1.Add VenusDE JetVenusDEPM control
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hai 1 ano |
