 zhouhr
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a980a39acf
add read delay in IoCylinder && add unknown error codes with VPA driver && add VceEntity
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hace 1 año |
 sangwq
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587a0094b4
fix logic error.
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hace 1 año |
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sangwq
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9ba5d70aff
fix abort manual transfer bug.
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hace 1 año |
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sangwq
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2b6f4986f3
fix Efemrobot scheduler bug.
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hace 1 año |
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sangwq
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3f1379ff57
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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hace 1 año |
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sangwq
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d49b8f65dd
fix the RouteManager instance initialize bug.
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hace 1 año |
 lixiang
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1d854ff197
添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关
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hace 1 año |
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sangwq
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69eff33372
Force System Restart after change IsATM mode configuration item and add abort process.
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hace 1 año |
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lixiang
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a62816fc3f
优化efem
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hace 1 año |
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lixiang
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9f512c69c9
优化efem动画
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hace 1 año |
 Intern01
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987f0abae5
1.Slove TuroN2Flow don't show problem
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hace 1 año |
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sangwq
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8d21b41b42
AutoCycle enhancement.
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hace 1 año |
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lixiang
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46aa26403c
优化压差开siltdoor功能
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hace 1 año |
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zhouhr
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038e0b984a
1.Add LL pump preemptive lock
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hace 1 año |
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lixiang
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fc317f2d07
添加控压状态，开关slitdoor，check压差的功能
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hace 1 año |
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lixiang
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00d42e8c17
efem动画优化
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hace 1 año |
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lixiang
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5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
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hace 1 año |
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Intern01
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261ef38430
solve errors in TMRobot Action&& update Serial ports in simulator
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hace 1 año |
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sangwq
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f216c69fcf
Enhance AutoCycle Module.
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hace 1 año |
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lixiang
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afb706578a
添加CycleCount/WaferCount显示
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hace 1 año |
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lixiang
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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hace 1 año |
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sangwq
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c223835b1e
enhance AutoCycle module.
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hace 1 año |
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Intern01
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73729331e4
Simulator Device Update
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hace 1 año |
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Intern01
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c5abe7c813
Simulator Communication Port Update
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hace 1 año |
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sangwq
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2fb8490f3a
Update TM software interlock about Loadlock slit door open issue.
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hace 1 año |
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lixiang
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9c46c55950
解决冲突
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hace 1 año |
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lixiang
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124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
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hace 1 año |
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zhouhr
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bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
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hace 1 año |
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Intern01
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60e9a04892
Simulator LP3 Update
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hace 1 año |
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lixiang
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708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
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hace 1 año |
