 lixiang
|
8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
1 jaar geleden |
 sangwq
|
75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
|
1 jaar geleden |
|
sangwq
|
2694bdc96c
Enhance the Pre-rotation function
|
1 jaar geleden |
|
sangwq
|
baeae1636e
TM Robot PreRotation function for particle and throughput issues.
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
9c33424896
解决冲突
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
1 jaar geleden |
|
sangwq
|
3f1379ff57
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
|
1 jaar geleden |
|
sangwq
|
d49b8f65dd
fix the RouteManager instance initialize bug.
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
1d854ff197
添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关
|
1 jaar geleden |
|
sangwq
|
69eff33372
Force System Restart after change IsATM mode configuration item and add abort process.
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
46aa26403c
优化压差开siltdoor功能
|
1 jaar geleden |
 zhouhr
|
038e0b984a
1.Add LL pump preemptive lock
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
|
1 jaar geleden |
 Intern01
|
261ef38430
solve errors in TMRobot Action&& update Serial ports in simulator
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
|
1 jaar geleden |
|
sangwq
|
2fb8490f3a
Update TM software interlock about Loadlock slit door open issue.
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
b96ac701fb
1.添加TM Simulator
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
8f80478982
1.添加IoSwitch
|
1 jaar geleden |
|
sangwq
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
1 jaar geleden |
