 lixiang
|
8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
17793fef54
kepler2300 PM界面添加Include/Exclude功能
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
5c5936c32c
1.修复mfc verification单点ui不显示bug
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
e818b037a2
1.修复TM Swap 不能开门/状态比对不过bug
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
c457973fa2
1.添加Revtech Match
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
ab095ba2a8
修复钟摆阀状态错误bug
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
235f843244
优化跑片动画算法
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
894ff76d5e
online/offline tobview状态颜色变化
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
f1c36cc209
添加提交
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
5139f41e19
添加PM Abort 下拉菜单功能
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
d26cf018d7
修复自动计算c1c2值bug
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
ad6fa7b5dc
1.添加chamber界面创建wafer，开关门功能
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
9c46c55950
解决冲突
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
vor 1 Jahr |
 zhouhr
|
bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
bb6f18ea1a
修改配置文件名，合并代码
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
179f80c29a
1.endpoint by wcf 添加修改配置文件界面
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
dbf06a2134
添加TM Operation界面
|
vor 1 Jahr |
