 zhouhr
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4e5194bce2
add Analysis of EFEM Hardware Error Codes && Monitor of Current Application Resources
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1 년 전 |
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zhouhr
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56f7c900fe
add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0
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1 년 전 |
 lixiang
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b5616b7378
解决冲突，合并代码
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1 년 전 |
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zhouhr
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efafd434f0
save only the last 200 entries in simulator's logs && add some key in UI
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1 년 전 |
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zhouhr
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a980a39acf
add read delay in IoCylinder && add unknown error codes with VPA driver && add VceEntity
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1 년 전 |
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zhouhr
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038e0b984a
1.Add LL pump preemptive lock
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1 년 전 |
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lixiang
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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1 년 전 |
 sangwq
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ff17e9c447
develop autycylce/manualmove module.
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1 년 전 |
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lixiang
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b6acfe2e29
优化TM leak check功能
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1 년 전 |
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lixiang
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f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
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1 년 전 |
 Intern01
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aaff066e93
EFEM Align UI RT 更新
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1 년 전 |
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sangwq
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68c484e4c3
兼容去胶机使用的Endpoint.
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1 년 전 |
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lixiang
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bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
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1 년 전 |
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Intern01
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c8473cb60c
1.增加Fa模块事件上报相关接口FaEvet，与recipejob,loadportjob事件上报接口
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1 년 전 |
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lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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1 년 전 |
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lixiang
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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1 년 전 |
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lixiang
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530ddcbae7
优化topview界面
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1 년 전 |
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lixiang
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8f80478982
1.添加IoSwitch
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1 년 전 |
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sangwq
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f211c4242f
Efem module raw design.
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1 년 전 |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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1 년 전 |
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lixiang
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a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
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2 년 전 |
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sangwq
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44ec74603f
TM Transfer
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2 년 전 |
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sangwq
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a54944a308
PM TM Wafer Transfer Ready.
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2 년 전 |
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sangwq
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bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
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2 년 전 |
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sangwq
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b8bd250b4e
TM/LL Pump/Vent/Purge done.
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2 년 전 |
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sangwq
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241a8a2f5d
UPDATE 20230324
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2 년 전 |
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sangwq
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e1226fdd9e
update for disable difference pressure checking under atm mode according electrical team request.
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2 년 전 |
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sangwq
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5b037046f9
Add TM/LL modules.
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2 년 전 |
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lixiang
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ffda76b488
修改rt与ui交互功能
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2 년 전 |
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lixiang
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a268651d10
1.添加configview和部分mfcverificationview
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2 년 전 |
