 zhouhr
|
3b204e2259
modify VCEControl's pic source to relative path
|
1 год назад |
 sangwq
|
0e0a0459a5
fix the slot exceeds limit bug.
|
1 год назад |
 lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
1 год назад |
 intern02
|
0dfd2f80f0
add VCE view in UI && add currentSlot for VceEntity while GotoSlot over && fix bug of SE SwapRoutine.
|
1 год назад |
|
sangwq
|
73f0d306a7
Enhance routing algorithm.
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
a83b38ac11
Add SE VCE|TM FsmState in TopView && Fix bug of CycledWafer number in SE Cycle && Add VCE Goto slot in SwapRoutine
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
1 год назад |
 hecl
|
78c80a0896
fix bugs
|
1 год назад |
|
lixiang
|
c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
|
1 год назад |
|
hecl
|
7e0a676b69
Improve datalog performance
|
1 год назад |
|
sangwq
|
61173b6866
Added Auto Vent/Pump log for tracing trigger issue.
|
1 год назад |
|
sangwq
|
22c9fb9a5c
Fixed the routing path blocked bug.
|
1 год назад |
|
sangwq
|
4a783d7213
发现 (_atmMoveFinishTrig.Q) 未能捕捉到问题， 暂时没发现原因， 更改实现算法。
|
1 год назад |
|
sangwq
|
b447d07d5a
fix list pointer exceeds limit bug.
|
1 год назад |
|
sangwq
|
c3bef13a6e
Enhance Auto pump/vent algorithm.
|
1 год назад |
|
lixiang
|
c457973fa2
1.添加Revtech Match
|
1 год назад |
|
sangwq
|
91d10bde6f
Bypass Auto pump/vent functions while ATM mode.
|
1 год назад |
|
sangwq
|
b3faba0e62
typing error.
|
1 год назад |
|
sangwq
|
d1ac5fa823
fixed the clean recipe path bug.
|
1 год назад |
|
sangwq
|
75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
|
1 год назад |
|
lixiang
|
8fb1796c74
1.airsys chiller加入on/off状态
|
1 год назад |
|
lixiang
|
7d5d86217c
解决冲突
|
1 год назад |
|
lixiang
|
ab095ba2a8
修复钟摆阀状态错误bug
|
1 год назад |
|
hecl
|
8e5ec35137
Add tansfer checkpage add fix bug about show step
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
5decb7ce4a
fix the bug of SE TMRobot StationNumber
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
7318b5c7a4
update missing file
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
1 год назад |
|
lixiang
|
41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
|
1 год назад |
|
sangwq
|
ec1db1df03
Enhance the Clean/Cycle routine algorithm.
|
1 год назад |
|
lixiang
|
ac251b02cc
1.主界面添加LLA/LLB ATM/VAV显示
|
1 год назад |
