 chenkui
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2241125f83
fixed EquipmentVariables.xml eventset cannot be empty
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vor 11 Monaten |
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chenkui
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b59880dc23
add EquipmentVariables.xml alarmId
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vor 11 Monaten |
 sangwq
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9e65346638
Fixed the blocking bug after one control job abort and restart.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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679a0eb967
fix the blocking bug while In loadlock is empty.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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98cc9d6be7
Fixed the blocking bug after error PM restored.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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1f85177a1a
Manual return PM wafer function while error happen.
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vor 1 Jahr |
 lixiang
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74af7f21c4
冲突解决，合并代码
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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b67769ec2c
ui优化
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vor 1 Jahr |
 zhouhr
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3838ce8c36
1. Change the logic of Reset RF/Pump/CustomItem count
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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3b9c2c346d
1. add missing item in SE/DE Sccfg
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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65d80057c2
ui优化
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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3aee4d6673
1. Add the function of StatsDataManager in UI,RT
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vor 1 Jahr |
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chenkui
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4cf93bf193
补充了CreateJob中LotId项
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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2a342e8e2a
fix runif typing bug.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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0af5bc1e75
throughput enhancement.
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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13b51bff63
提交TM Vent配置文件报错gug
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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a1cec725e5
修复TM Vent 配置文件报错bug
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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99d939492e
1.加登出界面
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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af4c050881
refresh throughput on real time with sequential mode.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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72419fe36a
enhance throughput and skip repeat loadlock pumping/venting.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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a17bb0b227
keep on enhance throughput.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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8cb06f14db
fix routing new wafer algorithm bug and add throughput trace log.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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02266cbd46
optimize routing algorithm.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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5e8f478558
temporary change avoiding blocking issue.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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51dd2374a5
temporary change for avoiding blocking issue.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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67703ea413
enhance routing algorithm.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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5014ced260
enhance the routing algorithm.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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9d0da84ad2
added cooling safety check.
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vor 1 Jahr |
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chenkui
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ec9cc202de
fiexd host connected equipment,after equipment disable EAP FaEnable ,system can not reenable eap
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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c7ca9fa97d
Keep on enhance routing algorithm.
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vor 1 Jahr |
