lixiang 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 vor 1 Monat
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PM 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 vor 1 Monat
TM 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 vor 1 Monat
ClusterGemModel.xml 60e9a04892 Simulator LP3 Update vor 1 Jahr
DBModel.sql a9d8e56970 1.扩展alarm list vor 7 Monaten
DataGroup.xml a98efc8a0b 1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug vor 11 Monaten
DeviceModel.xsd d8e5f1dc2c 2022 last update vor 2 Jahren
EquipmentVariables.xml 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 vor 1 Monat
EventDefine.xml 3f9c41937a update for event module enhancement vor 2 Jahren
IoProviderConfig.xml f92e6abb17 1.添加Kepler2300 功能代码 vor 2 Monaten
IoProviderConfig_Kepler2300.xml f92e6abb17 1.添加Kepler2300 功能代码 vor 2 Monaten
LogDefine.json 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 vor 1 Monat
RecipeFormat.xml 9760d40cf7 port simulator vor 2 Jahren
SVID.xls 25954d684c update EquipmentVariables.xml and Secsgem dll vor 9 Monaten
SequenceFormat.xml add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 vor 5 Monaten
SignalTower.xml 33d0cd73dd 1.修复Pump Counter 显示错误bug vor 8 Monaten
System_Kepler2200.sccfg f92e6abb17 1.添加Kepler2300 功能代码 vor 2 Monaten
System_Kepler2300.sccfg 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 vor 1 Monat
VenusPreProcess.py 64c7ef574e log vor 2 Jahren
VenusSignalTower.xml b6309f712c upload for Venus SE/DE vor 5 Monaten