| .. |
|
UILayout.xml
|
9b93f58d68
Add Venus DE OperationView && add the compatibility of the TM&VCE between SETM&DETM
|
1 년 전 |
|
_ioDefineKepler2200A.xml
|
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
|
1 년 전 |
|
_ioDefineKepler2200B.xml
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
1 년 전 |
|
_ioDefineKepler2300.xml
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
2 년 전 |
|
_ioDefineVenusDE.xml
|
b3a13fc6c7
1.IoMagnet device Logical supplement
|
1 년 전 |
|
_ioDefineVenusDE_MF.xml
|
0a2d5ac547
Venus DE TM simulator add
|
1 년 전 |
|
_ioDefineVenusSE.xml
|
f9d4a74265
1.Venus DE/SE Gasverification add missing pipes
|
1 년 전 |
|
_ioDefineVenusSE_MF.xml
|
7875fff8f4
1Venus DE UI Update && Venus SE Simulator update
|
1 년 전 |
|
_ioDefineVenus_MF.xml
|
ed7c537c19
1.添加TM/LLA/LLB 平衡阀
|
1 년 전 |
lixiang
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行