.. |
AdLinkEthercat
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
1 yıl önce |
EFEM
|
1931fc55d3
1.根据长鑫要求Process Hietory界面添加eap提供的wafeid与lottype信息
|
4 ay önce |
EPD
|
2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui,删除多余代码
|
10 ay önce |
EPDs
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
1 yıl önce |
IODevices
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
2 ay önce |
PreAligner
|
dba64f7240
1. add the driver of SunWayVPA && the item in config/setmentity
|
5 ay önce |
SMIF
|
8436daeb68
Eliminate SE generation warning.
|
1 yıl önce |
TM
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
1 ay önce |
AIRSYSChiller.cs
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
1 ay önce |
AdTecRF.cs
|
add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息
|
5 ay önce |
AdixenTurboPump.cs
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
2 ay önce |
CometRF.cs
|
33d0cd73dd
1.修复Pump Counter 显示错误bug
|
8 ay önce |
DataDefine.cs
|
12fa756895
1. SETM will be Init while While SETM Abort Homing
|
11 ay önce |
DeviceManager.cs
|
6447434c5b
Venus代码删除
|
3 ay önce |
ESC5HighVoltage.cs
|
9e1a79673e
1. add the item of AutoUnLoad for Job
|
5 ay önce |
EdwardsPump.cs
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
1 ay önce |
FinsPlc.cs
|
9163903164
Kepler2200优化
|
10 ay önce |
JetEPDBase.cs
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
1 yıl önce |
JetEfem.cs
|
5fc13b3f0c
New Efem design
|
1 yıl önce |
JetKepler2200APM.cs
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
1 ay önce |
JetKepler2200BPM.cs
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
1 ay önce |
JetKepler2300PM.cs
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
1 ay önce |
JetPMBase.cs
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
2 ay önce |
KeplerSignalTower.cs
|
7a1faeac74
Redesign the EFEM module for thread safe issue.
|
11 ay önce |
LzMatch_Ethercat.cs
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa,添加工艺结束,等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 yıl önce |
PendulumValve.cs
|
2cdc13a01b
1.Venus与Kepler 代码分开
|
3 ay önce |
PlasmaController.cs
|
75710d35d8
RF Match.
|
2 yıl önce |
RevtechMatch.cs
|
2cdc13a01b
1.Venus与Kepler 代码分开
|
3 ay önce |
SMCChiller.cs
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
1 ay önce |
SMCChillerDrive.cs
|
b6309f712c
upload for Venus SE/DE
|
5 ay önce |
SMCShareChiller.cs
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
1 ay önce |
SkyPump.cs
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
2 ay önce |
TruPlasmaRF.cs
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
1 ay önce |
TruPlasmaRF_Ethercat.cs
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能,c1/c2小于offset不设置
|
1 yıl önce |
TwincatFeedBackManager.cs
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
2 ay önce |
TwincatIO.cs
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
2 ay önce |