lixiang 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 1 ay önce
..
AdLinkEthercat ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData 1 yıl önce
EFEM 1931fc55d3 1.根据长鑫要求Process Hietory界面添加eap提供的wafeid与lottype信息 4 ay önce
EPD 2136e3b838 1.分开kepler与Venus 漏气检测ui,删除多余代码 10 ay önce
EPDs 4ffafb6001 EFEM界面优化 1 yıl önce
IODevices f92e6abb17 1.添加Kepler2300 功能代码 2 ay önce
PreAligner dba64f7240 1. add the driver of SunWayVPA && the item in config/setmentity 5 ay önce
SMIF 8436daeb68 Eliminate SE generation warning. 1 yıl önce
TM 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 1 ay önce
AIRSYSChiller.cs 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 1 ay önce
AdTecRF.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 5 ay önce
AdixenTurboPump.cs f92e6abb17 1.添加Kepler2300 功能代码 2 ay önce
CometRF.cs 33d0cd73dd 1.修复Pump Counter 显示错误bug 8 ay önce
DataDefine.cs 12fa756895 1. SETM will be Init while While SETM Abort Homing 11 ay önce
DeviceManager.cs 6447434c5b Venus代码删除 3 ay önce
ESC5HighVoltage.cs 9e1a79673e 1. add the item of AutoUnLoad for Job 5 ay önce
EdwardsPump.cs 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 1 ay önce
FinsPlc.cs 9163903164 Kepler2200优化 10 ay önce
JetEPDBase.cs 4ffafb6001 EFEM界面优化 1 yıl önce
JetEfem.cs 5fc13b3f0c New Efem design 1 yıl önce
JetKepler2200APM.cs 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 1 ay önce
JetKepler2200BPM.cs 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 1 ay önce
JetKepler2300PM.cs 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 1 ay önce
JetPMBase.cs f92e6abb17 1.添加Kepler2300 功能代码 2 ay önce
KeplerSignalTower.cs 7a1faeac74 Redesign the EFEM module for thread safe issue. 11 ay önce
LzMatch_Ethercat.cs 6d6f659b77 1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa,添加工艺结束,等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能 1 yıl önce
PendulumValve.cs 2cdc13a01b 1.Venus与Kepler 代码分开 3 ay önce
PlasmaController.cs 75710d35d8 RF Match. 2 yıl önce
RevtechMatch.cs 2cdc13a01b 1.Venus与Kepler 代码分开 3 ay önce
SMCChiller.cs 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 1 ay önce
SMCChillerDrive.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE 5 ay önce
SMCShareChiller.cs 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 1 ay önce
SkyPump.cs f92e6abb17 1.添加Kepler2300 功能代码 2 ay önce
TruPlasmaRF.cs 031a4236bf 1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警 1 ay önce
TruPlasmaRF_Ethercat.cs 7ff42d4eca 1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能,c1/c2小于offset不设置 1 yıl önce
TwincatFeedBackManager.cs f92e6abb17 1.添加Kepler2300 功能代码 2 ay önce
TwincatIO.cs f92e6abb17 1.添加Kepler2300 功能代码 2 ay önce