| .. |
|
Attributes
|
87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
|
1 vuosi sitten |
|
Properties
|
8582fd7e94
Venus初始版本提交
|
2 vuotta sitten |
|
Chamber.cs
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
1 vuosi sitten |
|
ConfigType.cs
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
1 vuosi sitten |
|
ConvertPressureUnit.cs
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
1 vuosi sitten |
|
DataName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 vuotta sitten |
|
DeviceName.cs
|
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
|
1 vuosi sitten |
|
EventDefine.cs
|
0b8a98a845
IoDevice IoMagnet Add
|
1 vuosi sitten |
|
FADefine.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 vuotta sitten |
|
GlobalEvents.cs
|
ba61077913
增加拖片功能
|
1 vuosi sitten |
|
HighTemperatureHeaterPosition.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
1 vuosi sitten |
|
InvokeName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 vuotta sitten |
|
Kepler2300Device.cs
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
1 vuosi sitten |
|
MFCCalibrationData.cs
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
1 vuosi sitten |
|
ModuleName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 vuotta sitten |
|
PMLeakCheckResult.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
1 vuosi sitten |
|
PartialPressureResult.cs
|
796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
|
1 vuosi sitten |
|
PressureType.cs
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 vuosi sitten |
|
ProcessUnitDefine.cs
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
1 vuosi sitten |
|
Recipe.cs
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
1 vuosi sitten |
|
RecipeResult.cs
|
bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
|
1 vuosi sitten |
|
RobotArmPan.cs
|
b2e38c8ff3
Add unuploaded files
|
1 vuosi sitten |
|
RtState.cs
|
9d9b666ea4
Venus SE Update
|
1 vuosi sitten |
|
SCValue.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 vuotta sitten |
|
SerializeHelper.cs
|
8d21b41b42
AutoCycle enhancement.
|
1 vuosi sitten |
|
SignalTowerItem.cs
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
1 vuosi sitten |
|
StepItem.cs
|
edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
|
1 vuosi sitten |
|
SubItem.cs
|
bb33e89998
1，优化UI界面
|
2 vuotta sitten |
|
TM.cs
|
dfc9174ac8
VenusSE TM PM Simulator Update
|
1 vuosi sitten |
|
VATPerformanceResult.cs
|
796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
|
1 vuosi sitten |
|
ValveType.cs
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
1 vuosi sitten |
|
VenusDevice.cs
|
2ffdf6e535
1Venus DE LinerDoor update
|
1 vuosi sitten |
|
VenusMenu.cs
|
0f905564d0
加入登录界面和权限管理
|
1 vuosi sitten |
|
Venus_Core.csproj
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
1 vuosi sitten |
|
VirgoDevice.cs
|
9760d40cf7
port simulator
|
2 vuotta sitten |
lixiang
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能