lixiang 7e15cb64a0 1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能 před 1 rokem
..
Attributes 87f1121180 1.Recipe UI 界面Name优化 před 1 rokem
Properties 8582fd7e94 Venus初始版本提交 před 2 roky
Chamber.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType před 1 rokem
ConfigType.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType před 1 rokem
ConvertPressureUnit.cs bdcf0556c9 1.将kepler2200与其它项目配置文件分开 před 1 rokem
DataName.cs 3cad102221 更新 RT před 2 roky
DeviceName.cs 9e14bbee6a 1.由于PM种类变多,且分配置,PM 加载device 功能重写 před 1 rokem
EventDefine.cs 0b8a98a845 IoDevice IoMagnet Add před 1 rokem
FADefine.cs 3cad102221 更新 RT před 2 roky
GlobalEvents.cs ba61077913 增加拖片功能 před 1 rokem
HighTemperatureHeaterPosition.cs ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData před 1 rokem
InvokeName.cs 3cad102221 更新 RT před 2 roky
Kepler2300Device.cs a5813eb09d 1.修改chamber wafer样式 před 1 rokem
MFCCalibrationData.cs 3a078d515d 1.修复ui灯闪烁错误bug před 1 rokem
ModuleName.cs 3cad102221 更新 RT před 2 roky
PMLeakCheckResult.cs ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData před 1 rokem
PartialPressureResult.cs 796541e5a6 现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能 před 1 rokem
PressureType.cs 68b4ba9640 1.添加mtorr与Pa切换功能 před 1 rokem
ProcessUnitDefine.cs 7e15cb64a0 1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能 před 1 rokem
Recipe.cs 7e15cb64a0 1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能 před 1 rokem
RecipeResult.cs bcc9d2faf8 1、Chamber add the waferID před 1 rokem
RobotArmPan.cs b2e38c8ff3 Add unuploaded files před 1 rokem
RtState.cs 9d9b666ea4 Venus SE Update před 1 rokem
SCValue.cs 3cad102221 更新 RT před 2 roky
SerializeHelper.cs 8d21b41b42 AutoCycle enhancement. před 1 rokem
SignalTowerItem.cs b2406d6f78 1.添加signalTonwer ui界面 před 1 rokem
StepItem.cs edb5ad6960 1.添加数据分析 Recipe step功能 před 1 rokem
SubItem.cs bb33e89998 1,优化UI界面 před 2 roky
TM.cs dfc9174ac8 VenusSE TM PM Simulator Update před 1 rokem
VATPerformanceResult.cs 796541e5a6 现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能 před 1 rokem
ValveType.cs 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. před 1 rokem
VenusDevice.cs 2ffdf6e535 1Venus DE LinerDoor update před 1 rokem
VenusMenu.cs 0f905564d0 加入登录界面和权限管理 před 1 rokem
Venus_Core.csproj 7e15cb64a0 1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能 před 1 rokem
VirgoDevice.cs 9760d40cf7 port simulator před 2 roky