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AdLinkEthercat
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ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
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1 년 전 |
EFEM
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d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称,chamberTYpe 比对
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1 년 전 |
EPD
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c3ef1d5a6e
Wafer loadlock delay function.
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1 년 전 |
EPDs
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4ffafb6001
EFEM界面优化
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1 년 전 |
IODevices
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9d28f8ee7d
1.Add Tru match
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11 달 전 |
PreAligner
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136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
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1 년 전 |
SMIF
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8436daeb68
Eliminate SE generation warning.
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1 년 전 |
TM
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68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
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1 년 전 |
VCE
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136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
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1 년 전 |
AIRSYSChiller.cs
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6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
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1 년 전 |
AdTecRF.cs
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01dafac8f1
1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能
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1 년 전 |
AdixenTurboPump.cs
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01dafac8f1
1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能
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1 년 전 |
CometRF.cs
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709c7a1c10
fixed the routing bug while B In B Out.
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1 년 전 |
DataDefine.cs
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b3a13fc6c7
1.IoMagnet device Logical supplement
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1 년 전 |
DeviceManager.cs
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9d28f8ee7d
1.Add Tru match
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11 달 전 |
ESC5HighVoltage.cs
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552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
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1 년 전 |
EdwardsPump.cs
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be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
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1 년 전 |
FinsPlc.cs
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c457973fa2
1.添加Revtech Match
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1 년 전 |
JetEPDBase.cs
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4ffafb6001
EFEM界面优化
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1 년 전 |
JetEfem.cs
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5fc13b3f0c
New Efem design
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1 년 전 |
JetKepler2200APM.cs
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01dafac8f1
1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能
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1 년 전 |
JetKepler2200BPM.cs
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01dafac8f1
1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能
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1 년 전 |
JetKepler2300PM.cs
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52e8bd8f7a
1.优化Home断开重连
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11 달 전 |
JetPMBase.cs
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b3a13fc6c7
1.IoMagnet device Logical supplement
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1 년 전 |
JetVenusDEPM.cs
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9d28f8ee7d
1.Add Tru match
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11 달 전 |
JetVenusSEPM.cs
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9d28f8ee7d
1.Add Tru match
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11 달 전 |
JetVenusSEPMBase.cs
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56f7c900fe
add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0
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1 년 전 |
LzMatch_Ethercat.cs
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6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa,添加工艺结束,等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
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1 년 전 |
PendulumValve.cs
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52e8bd8f7a
1.优化Home断开重连
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11 달 전 |
PlasmaController.cs
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75710d35d8
RF Match.
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2 년 전 |
RevtechMatch.cs
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52e8bd8f7a
1.优化Home断开重连
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11 달 전 |
SMCChiller.cs
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01dafac8f1
1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能
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1 년 전 |
SkyPump.cs
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44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
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1 년 전 |
TruPlasmaRF.cs
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9d28f8ee7d
1.Add Tru match
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11 달 전 |
TruPlasmaRF_Ethercat.cs
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7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能,c1/c2小于offset不设置
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1 년 전 |
VirgoSignalTower.cs
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0f905564d0
加入登录界面和权限管理
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1 년 전 |