 lixiang
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
пре 2 месеци |
|
lixiang
|
2cdc13a01b
1.Venus与Kepler 代码分开
|
пре 3 месеци |
|
lixiang
|
38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
|
пре 4 месеци |
|
lixiang
|
1931fc55d3
1.根据长鑫要求Process Hietory界面添加eap提供的wafeid与lottype信息
|
пре 4 месеци |
|
lixiang
|
add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID，Process History 切recipe 保留原查询信息
|
пре 5 месеци |
 zhouhr
|
b6309f712c
upload for Venus SE/DE
|
пре 5 месеци |
|
lixiang
|
a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
|
пре 5 месеци |
|
lixiang
|
7556c43a4c
1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复
|
пре 6 месеци |
|
lixiang
|
ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
|
пре 7 месеци |
|
lixiang
|
d6b8d32004
1.修复不能跑atm模式的bug
|
пре 7 месеци |
|
lixiang
|
a9d8e56970
1.扩展alarm list
|
пре 7 месеци |
 sangwq
|
a850db5a2d
Enhance the cooling algorithm to avoid processed wafer stay loadlock too long.
|
пре 7 месеци |
|
lixiang
|
e29f6e8e46
1.优化UI界面性能
|
пре 7 месеци |
|
lixiang
|
17c3d36a2b
Sequence 界面 PM REcipe 支持选择 Pre Clean/Post Clean/WTW Clean 和 Process Recipe
|
пре 7 месеци |
|
lixiang
|
b67769ec2c
ui优化
|
пре 8 месеци |
|
sangwq
|
0af5bc1e75
throughput enhancement.
|
пре 8 месеци |
|
lixiang
|
99d939492e
1.加登出界面
|
пре 8 месеци |
|
lixiang
|
465f0690e7
Cooling功能bug修复
|
пре 9 месеци |
|
lixiang
|
5ce110574e
1，添加cooling功能
|
пре 9 месеци |
|
lixiang
|
2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
|
пре 10 месеци |
|
lixiang
|
9163903164
Kepler2200优化
|
пре 10 месеци |
|
lixiang
|
ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
|
пре 10 месеци |
|
lixiang
|
464c53cd94
1.Datalog添加高温Haeter开关显示
|
пре 10 месеци |
|
lixiang
|
d938a9e54c
PM/TM swap pick 开门前加压力wait
|
пре 10 месеци |
|
lixiang
|
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
|
пре 10 месеци |
|
lixiang
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
пре 11 месеци |
|
zhouhr
|
b0e5581d4e
delete some item in SE Config && add WallChiller in DE && add ConfigItem for pump check ForelinePressure in every chambertype
|
пре 11 месеци |
|
lixiang
|
caba8d94c6
Duplicated Wafer UI显示
|
пре 11 месеци |
|
lixiang
|
552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
пре 1 година |
