 lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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hai 1 ano |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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020e8459ea
移除kepler2200A与Kepler2200B RT Device中的chiller
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hai 1 ano |
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lixiang
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15742217b9
添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时
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hai 1 ano |
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lixiang
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967f6b6b9c
添加控压结束，保持一秒流气功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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f8c50b602a
修复Tolerance对流气不开阀的bug
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hai 1 ano |
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lixiang
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c3f0679404
UI界面添加Pause/Resume功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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hai 1 ano |
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lixiang
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818383115c
UI优化
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hai 1 ano |
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lixiang
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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hai 1 ano |
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lixiang
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e511d1f387
1.添加PM控压功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
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hai 1 ano |
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lixiang
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c457973fa2
1.添加Revtech Match
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hai 1 ano |
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lixiang
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0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
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lixiang
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de2f4fea7e
优化abort下拉功能
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lixiang
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5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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b1e6a9ce63
bug提交
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lixiang
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649ac00032
添加rfmatch/biasrfmatch自动计算c1/c2功能
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 zhouhr
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efafd434f0
save only the last 200 entries in simulator's logs && add some key in UI
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 sangwq
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3f1379ff57
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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sangwq
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d49b8f65dd
fix the RouteManager instance initialize bug.
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lixiang
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1d854ff197
添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关
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sangwq
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69eff33372
Force System Restart after change IsATM mode configuration item and add abort process.
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lixiang
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124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
