 lixiang
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f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
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6 月之前 |
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lixiang
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2cdc13a01b
1.Venus与Kepler 代码分开
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7 月之前 |
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lixiang
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38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
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8 月之前 |
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lixiang
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1931fc55d3
1.根据长鑫要求Process Hietory界面添加eap提供的wafeid与lottype信息
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8 月之前 |
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lixiang
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add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID，Process History 切recipe 保留原查询信息
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9 月之前 |
 zhouhr
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b6309f712c
upload for Venus SE/DE
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9 月之前 |
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lixiang
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a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
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10 月之前 |
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lixiang
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7556c43a4c
1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复
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10 月之前 |
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lixiang
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ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
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11 月之前 |
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lixiang
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d6b8d32004
1.修复不能跑atm模式的bug
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11 月之前 |
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lixiang
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a9d8e56970
1.扩展alarm list
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11 月之前 |
 sangwq
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a850db5a2d
Enhance the cooling algorithm to avoid processed wafer stay loadlock too long.
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11 月之前 |
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lixiang
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e29f6e8e46
1.优化UI界面性能
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11 月之前 |
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lixiang
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17c3d36a2b
Sequence 界面 PM REcipe 支持选择 Pre Clean/Post Clean/WTW Clean 和 Process Recipe
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11 月之前 |
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lixiang
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b67769ec2c
ui优化
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1 年之前 |
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sangwq
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0af5bc1e75
throughput enhancement.
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1 年之前 |
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lixiang
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99d939492e
1.加登出界面
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1 年之前 |
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lixiang
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465f0690e7
Cooling功能bug修复
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1 年之前 |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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1 年之前 |
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lixiang
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2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
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1 年之前 |
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lixiang
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9163903164
Kepler2200优化
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1 年之前 |
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lixiang
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ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
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1 年之前 |
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lixiang
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464c53cd94
1.Datalog添加高温Haeter开关显示
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1 年之前 |
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lixiang
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d938a9e54c
PM/TM swap pick 开门前加压力wait
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1 年之前 |
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lixiang
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608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
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1 年之前 |
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lixiang
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d33079596b
1.优化新版跑片动画
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1 年之前 |
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zhouhr
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b0e5581d4e
delete some item in SE Config && add WallChiller in DE && add ConfigItem for pump check ForelinePressure in every chambertype
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1 年之前 |
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lixiang
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caba8d94c6
Duplicated Wafer UI显示
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1 年之前 |
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lixiang
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552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
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1 年之前 |
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lixiang
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f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
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1 年之前 |
