 lixiang
|
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
|
před 10 měsíci |
 zhouhr
|
9b93f58d68
Add Venus DE OperationView && add the compatibility of the TM&VCE between SETM&DETM
|
před 11 měsíci |
|
zhouhr
|
13460815b8
add PM ALARM_Notify while PM sensor Alarm && add TMBase for SETM&&DETM && add HongHuDETM For DE && fix some bugs in DETMUI
|
před 11 měsíci |
 hecl
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
před 1 rokem |
 sangwq
|
6d393bb86d
new routing algorithm with prediction.
|
před 1 rokem |
 chenkui
|
587ffe27b5
1、配置文件中增加了FA.Encoding
|
před 1 rokem |
|
chenkui
|
5cf3c54d79
1、RouteManager增加了StopJob,AbortJob等
|
před 1 rokem |
|
chenkui
|
a3f01b0830
1、重新引用最新版本的SecsGem动态库，用于实现FA相应的功能；
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
20606c1ffb
check in new routing algorithm code.
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
12eb71a75f
Redesign the Clean recipe algorithm and fix the throughput calculation bug.
|
před 1 rokem |
|
chenkui
|
44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
dbb753dd44
Pause functionality.
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
a80b5af3fd
enhance manual return wafer algorithm.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
0728fdc25a
Add Abort while SE Cycle, ReturnWafer, manual transfer && fix bug in SETM simulator && update UI in SE Operation,TM View
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
26a6aa8f41
fix bug in SE Swap && SE Cycle
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
f5a709d29f
enhance ReturnWafer for VenusSE && fix bugs in VCE Routine, HongHuTM
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
724b0ca304
add ReturnWafer for Venus SE.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
1b999083c8
add WaferTransfer for VenusSE && fix bug in VceControl as param is null && fix bug in Pick,Place as target slot is negative.
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
faa496c2b0
fix a routing bug for single PM sequence.
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
73f0d306a7
Enhance routing algorithm.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
c3bef13a6e
Enhance Auto pump/vent algorithm.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
f7228d247a
restore Venus TM Robot Simulator
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
08029e238d
update Venus SE pick place && drivers of HongHu deivce && ui
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
b9a935138d
add vpa vce simulator && update honghuvce driver,SETMEntity,seTMEntity pick place home routine && update VenusSEoverviewmodel......
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
1e7c808d19
add VenusSE tm related module in ui rt simulator && fix efem backround bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
a88d0012df
fix some AutoCycle/manualMove/ReturnWafer/Abort bugs.
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
d49b8f65dd
fix the RouteManager instance initialize bug.
|
před 1 rokem |
