 zhouhr
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
vor 1 Jahr |
|
zhouhr
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
vor 1 Jahr |
|
zhouhr
|
08029e238d
update Venus SE pick place && drivers of HongHu deivce && ui
|
vor 1 Jahr |
 hecl
|
5396e84cfe
VenusSE TM io simulator update
|
vor 1 Jahr |
 Intern01
|
dfc9174ac8
VenusSE TM PM Simulator Update
|
vor 1 Jahr |
 lixiang
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
vor 1 Jahr |
|
Intern01
|
211accc82b
PMD&Simulator update
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
b6acfe2e29
优化TM leak check功能
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
|
vor 1 Jahr |
|
lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
vor 1 Jahr |
 sangwq
|
dff905345f
增加PMB的兼容
|
vor 1 Jahr |
|
sangwq
|
241a8a2f5d
UPDATE 20230324
|
vor 2 Jahren |
|
sangwq
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
vor 2 Jahren |
|
sangwq
|
9760d40cf7
port simulator
|
vor 2 Jahren |
|
lixiang
|
2d9b78db8c
1.自定义 UI 管道与阀门
|
vor 2 Jahren |
