 lixiang
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7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
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1 年之前 |
 hecl
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8b0b067448
Add chamber ISO valve status
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lixiang
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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1 年之前 |
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lixiang
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8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
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1 年之前 |
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lixiang
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d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
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lixiang
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0f905564d0
加入登录界面和权限管理
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lixiang
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9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
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lixiang
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af631c4aaa
1.添加RF Calibration功能
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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lixiang
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33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
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lixiang
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15742217b9
添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时
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lixiang
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f8026cadbc
控压结束动作bug修复
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1 年之前 |
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lixiang
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967f6b6b9c
添加控压结束，保持一秒流气功能
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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lixiang
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818383115c
UI优化
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lixiang
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e511d1f387
1.添加PM控压功能
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lixiang
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6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
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lixiang
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
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lixiang
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a2426eb90b
Recipe 添加bias step ramp设值功能
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lixiang
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b1e6a9ce63
bug提交
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1 年之前 |
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lixiang
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649ac00032
添加rfmatch/biasrfmatch自动计算c1/c2功能
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1 年之前 |
 sangwq
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271930f900
minor change.
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lixiang
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cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
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lixiang
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379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
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sangwq
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3f1379ff57
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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sangwq
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d49b8f65dd
fix the RouteManager instance initialize bug.
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lixiang
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1d854ff197
添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关
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sangwq
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69eff33372
Force System Restart after change IsATM mode configuration item and add abort process.
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lixiang
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124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
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lixiang
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708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
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1 年之前 |
