 hecl
|
9d28f8ee7d
1.Add Tru match
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
b3a13fc6c7
1.IoMagnet device Logical supplement
|
před 1 rokem |
 lixiang
|
552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
2ffdf6e535
1Venus DE LinerDoor update
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
d331213da1
1.SETM Pressure Control update
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
f9d4a74265
1.Venus DE/SE Gasverification add missing pipes
|
před 1 rokem |
 zhouhr
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
9d9b666ea4
Venus SE Update
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
8436daeb68
Eliminate SE generation warning.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
57607fb800
add IsHome =>false when error happened in driver of HongHu Robot && Change storage unit from GB to MB in ResourceMonitor
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
0728fdc25a
Add Abort while SE Cycle, ReturnWafer, manual transfer && fix bug in SETM simulator && update UI in SE Operation,TM View
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
e8e04e07b5
Change cast way by Enum Name for SEPMView.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
bcbe6b2cbe
fix bug in PM SlitDoorClosed
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
24f1f52056
fix bug in SE PM SetSlitDoor && add deal with SE PM Home
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
36cc58e22c
fix bug in Venus SE PM in UI,RT,Simulator
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
56f7c900fe
add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0
|
před 1 rokem |
