 lixiang
|
52e8bd8f7a
1.优化Home断开重连
|
hai 11 meses |
|
lixiang
|
8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
feed6f1c8e
修复手动流气bug
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
fdb9fa780e
修复PM界面钟摆阀与加热可以打开多个窗体的bug
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
|
hai 1 ano |
 sangwq
|
ec1db1df03
Enhance the Clean/Cycle routine algorithm.
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
ac251b02cc
1.主界面添加LLA/LLB ATM/VAV显示
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
9e1de0e343
1.run recipe 参数bool改recipetype
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
7a6912dc9c
添加cleanrecipe界面
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
f53a5428e6
1.将rt向ui传递robot状态放在线程安全队列，避免数据包丢失
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
5139f41e19
添加PM Abort 下拉菜单功能
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
20cc441578
1.kepler2200 ui优化
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
ad6fa7b5dc
1.添加chamber界面创建wafer，开关门功能
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
|
hai 1 ano |
 Intern01
|
987f0abae5
1.Slove TuroN2Flow don't show problem
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
9c46c55950
解决冲突
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
hai 1 ano |
 zhouhr
|
bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
|
hai 1 ano |
