 zhouhr
|
4e5194bce2
add Analysis of EFEM Hardware Error Codes && Monitor of Current Application Resources
|
преди 1 година |
 sangwq
|
501997ac38
TM/EFEM robot single arm option.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
c223835b1e
enhance AutoCycle module.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
|
преди 1 година |
 yangdb
|
045eae5c75
1.sequence和recipe修改日志输出格式
|
преди 1 година |
 Intern01
|
23c59d3c86
1.完成FA模块的功能开发
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
ed992dd631
Enhance the Log Info
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
44ec74603f
TM Transfer
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
|
преди 2 години |
 lixiang
|
f48943cfd1
解决冲突
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
7a6556869f
1.整理主界面UI
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
096c873956
Sequence SPEC update.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
46261ca338
enhance wafer manager.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
c4864f5546
debug gas verification.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
2b930e56b9
Log output for exception.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
4e8a55f733
Endpoint Module.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
d8e5f1dc2c
2022 last update
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
0606b882bc
process module 1215
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
630c7b7548
Wafer transfer routine done.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
8f2e8686aa
VenusDevice.cs
|
преди 2 години |
