 zhouhr
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dd99f38e54
change the system by configtype in App.config in RT,Simulator && change the temp by chillertype in VenusDE
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hai 10 meses |
 lixiang
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3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
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hai 10 meses |
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zhouhr
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9b93f58d68
Add Venus DE OperationView && add the compatibility of the TM&VCE between SETM&DETM
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hai 11 meses |
 hecl
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0a2d5ac547
Venus DE TM simulator add
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hai 11 meses |
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lixiang
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d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
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hai 1 ano |
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lixiang
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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hai 1 ano |
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lixiang
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6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
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hai 1 ano |
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lixiang
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96661cadab
修复efem place ，tm同时有lp1与lp2 wafer时return wafer报错bug
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hai 1 ano |
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lixiang
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cfed419b0a
解决ValueTuple版本冲突
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hai 1 ano |
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hecl
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d18b2c8e6a
Add VenusDE PM UI, Viewmodel, Simulator
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hai 1 ano |
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lixiang
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818383115c
UI优化
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hai 1 ano |
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hecl
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1b4faf274b
Improve VenusSE pm viewmodel and vent function
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hai 1 ano |
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lixiang
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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hai 1 ano |
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zhouhr
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36cc58e22c
fix bug in Venus SE PM in UI,RT,Simulator
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hai 1 ano |
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hecl
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58b65c3ff0
VenusSE Simulator PM Update
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hai 1 ano |
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zhouhr
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c5b157adf6
add Venus seTMView in simulator
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hai 1 ano |
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zhouhr
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08029e238d
update Venus SE pick place && drivers of HongHu deivce && ui
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hai 1 ano |
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hecl
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5396e84cfe
VenusSE TM io simulator update
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hai 1 ano |
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zhouhr
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b9a935138d
add vpa vce simulator && update honghuvce driver,SETMEntity,seTMEntity pick place home routine && update VenusSEoverviewmodel......
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hai 1 ano |
 Intern01
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dfc9174ac8
VenusSE TM PM Simulator Update
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hai 1 ano |
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zhouhr
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1e7c808d19
add VenusSE tm related module in ui rt simulator && fix efem backround bug
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hai 1 ano |
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Intern01
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c5abe7c813
Simulator Communication Port Update
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hai 1 ano |
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Intern01
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b7129c8da5
PM&Simulator update
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hai 1 ano |
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Intern01
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b1f52bbe8a
Simulator PMC update
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hai 1 ano |
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lixiang
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f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
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hai 1 ano |
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lixiang
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be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
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hai 1 ano |
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lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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hai 1 ano |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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hai 1 ano |
 sangwq
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5b037046f9
Add TM/LL modules.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
