 sangwq
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faa496c2b0
fix a routing bug for single PM sequence.
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hace 1 año |
 lixiang
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6910d4754e
代码合并
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hace 1 año |
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lixiang
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12bf5aaba7
高温heater功能添加
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hace 1 año |
 zhouhr
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187a5c453d
Kepler operation页面增加PMB、PMC、TM压力值和真空大气信号 去除MFVentRoutine结束后关闭N2valve
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hace 1 año |
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zhouhr
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376ce10782
增加LOG模块中特定eEvent id触发委托函数 && 移除UI中触发PMError && add SE TM Cycle throughput && fix vcedoor not show
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hace 1 año |
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sangwq
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88b91b4ea3
fix routing bugs.
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hace 1 año |
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sangwq
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19499bd319
fix a routing bug.
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hace 1 año |
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zhouhr
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3b204e2259
modify VCEControl's pic source to relative path
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hace 1 año |
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sangwq
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0e0a0459a5
fix the slot exceeds limit bug.
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hace 1 año |
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lixiang
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6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
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hace 1 año |
 intern02
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0dfd2f80f0
add VCE view in UI && add currentSlot for VceEntity while GotoSlot over && fix bug of SE SwapRoutine.
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hace 1 año |
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sangwq
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73f0d306a7
Enhance routing algorithm.
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hace 1 año |
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zhouhr
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a83b38ac11
Add SE VCE|TM FsmState in TopView && Fix bug of CycledWafer number in SE Cycle && Add VCE Goto slot in SwapRoutine
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hace 1 año |
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zhouhr
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a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
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hace 1 año |
 hecl
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78c80a0896
fix bugs
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hace 1 año |
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lixiang
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
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hace 1 año |
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hecl
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7e0a676b69
Improve datalog performance
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hace 1 año |
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sangwq
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61173b6866
Added Auto Vent/Pump log for tracing trigger issue.
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hace 1 año |
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sangwq
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22c9fb9a5c
Fixed the routing path blocked bug.
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hace 1 año |
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sangwq
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4a783d7213
发现 (_atmMoveFinishTrig.Q) 未能捕捉到问题， 暂时没发现原因， 更改实现算法。
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hace 1 año |
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sangwq
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b447d07d5a
fix list pointer exceeds limit bug.
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hace 1 año |
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sangwq
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c3bef13a6e
Enhance Auto pump/vent algorithm.
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hace 1 año |
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lixiang
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c457973fa2
1.添加Revtech Match
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hace 1 año |
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sangwq
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91d10bde6f
Bypass Auto pump/vent functions while ATM mode.
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hace 1 año |
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sangwq
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b3faba0e62
typing error.
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hace 1 año |
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sangwq
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d1ac5fa823
fixed the clean recipe path bug.
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hace 1 año |
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sangwq
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75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
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hace 1 año |
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lixiang
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8fb1796c74
1.airsys chiller加入on/off状态
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hace 1 año |
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lixiang
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7d5d86217c
解决冲突
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hace 1 año |
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lixiang
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ab095ba2a8
修复钟摆阀状态错误bug
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hace 1 año |
