 lixiang
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
 Intern01
|
211accc82b
PMD&Simulator update
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
 sangwq
|
344d734fff
ATM Transfer.
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
 zhouhr
|
c8ec52ec1e
修复下手臂无法右键的问题
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
zhouhr
|
1408b6822f
增加return wafer的Dialog、右键wafer的菜单项return wafer
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
b6acfe2e29
优化TM leak check功能
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
b96ac701fb
1.添加TM Simulator
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
7b98756c26
兼容新旧 Endpoint, 未完成
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
ec1eeba67c
添加数据分析界面
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
39dd3fa41f
Enable Com debug log.
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
2663cfc1d9
Add place/pick delay.
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
dff905345f
增加PMB的兼容
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
66557b65bb
TMCycle not finished.
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
62f1a16025
1.添加PartialPressure界面
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
241a8a2f5d
UPDATE 20230324
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
4ae8734407
PendulumValve pressure full range.
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
6187ad5b4f
Interlock 优化
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
