 zhouhr
|
b0e5581d4e
delete some item in SE Config && add WallChiller in DE && add ConfigItem for pump check ForelinePressure in every chambertype
|
пре 11 месеци |
 lixiang
|
caba8d94c6
Duplicated Wafer UI显示
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
пре 1 година |
 sangwq
|
2a6a20fefc
fix the wrong position for singleArm Option definition while upper in lower out.
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
746ece5800
restore System.Name configure item
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
a05e9eaa1b
Loadlock/TM Robot slot In/Out Options.
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
|
пре 1 година |
 chenkui
|
63d58afa42
1、SecsGem增加了UTF-8编码的支持；
|
пре 1 година |
|
chenkui
|
587ffe27b5
1、配置文件中增加了FA.Encoding
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
8b2a01fcc3
kepler2200配置文件也添加IsEnableEthercat
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
пре 1 година |
