 chenzk
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fa59a95e23
revise ph config
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hace 7 meses |
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chenzk
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e7f0ca1e68
revise robot cycle bug
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hace 7 meses |
 chenkui
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1993396b13
update install crs routine
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hace 7 meses |
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chenkui
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c525a0bcf3
update efem vacuum
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hace 7 meses |
 niuyx
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662974038d
Modify SrdRecipeView, PrewetHomePage; Modify galil Home step; Add Prewet simulator;
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hace 7 meses |
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chenzk
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2b887d9e15
add reservoir regulate pump
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hace 7 meses |
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chenzk
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8714d1f457
revise reservoir config
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hace 7 meses |
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niuyx
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69d4e6919b
Add SRD UnloaderRoutine、ChuckATMRoutine; Modify EfemView;
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hace 7 meses |
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chenzk
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dce33ff7d5
revise reservoir/metal
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hace 7 meses |
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chenzk
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9a000dbe19
revise wago simulator
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hace 7 meses |
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niuyx
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48517b7d99
Add SRDLiftUpRoutine; Revise IO ModuleIOCfg.xml and SRD UI; Add SRD related Simulator;
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hace 7 meses |
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chenzk
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3705df9310
add rinse run recipe
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hace 7 meses |
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niuyx
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c7c6f6cccc
Modify SRD UI; Add SRD related Operation;
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hace 7 meses |
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niuyx
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fb043274f4
Modify SRD related ModuleIO and variable; Revise fwdLimit display of transporter;
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hace 7 meses |
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niuyx
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0c701b0226
Modify TransporterInterLock, TransporterPickUpFromRoutine; Add Transporter IO variable; Modify Transporter UI;
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hace 8 meses |
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chenkui
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4c2922bfe9
update puf interlock
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hace 8 meses |
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chenkui
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478aa5ec7f
update puf view
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hace 8 meses |
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chenkui
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371876b350
add robot map routine
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hace 8 meses |
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chenkui
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388b234daf
add X8 EfemRobot
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hace 8 meses |
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chenkui
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f7533a737b
Initialize
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hace 9 meses |
