|  chenkui | 1993396b13
							
							update install crs routine | преди 7 месеца | 
				
					
						|  chenkui | c525a0bcf3
							
							update efem vacuum | преди 7 месеца | 
				
					
						|  chenkui | 40d22dfd74
							
							add Galil DI | преди 7 месеца | 
				
					
						|  chenkui | 0f6f0fbadc
							
							update efem pick and place wafer size | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | 0b293c8ffb
							
							update puf axis | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | 0aabb32d23
							
							update galil axis | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | 4c2922bfe9
							
							update puf interlock | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | 478aa5ec7f
							
							update puf view | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | 63d3440eab
							
							update SunWayRobot | преди 8 месеца | 
				
					
						|  niuyx | be81c6f824
							
							Revise StationPositionsCfg.xml mistakes; | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | 157678dcee
							
							remove station material size | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | 136a058316
							
							wago add group | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | e4fd0ff15a
							
							update swing to shuttle | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | b4b22b406e
							
							update wago and galil profileposition | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | 0231588bb5
							
							update galil | преди 8 месеца | 
				
					
						|  chenkui | f7533a737b
							
							Initialize | преди 9 месеца |