 jiangjy
|
ffb3bcb66d
update N2purge check location
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
51222281ad
update RHCVDFFrequency
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
19f6ec6d6e
update waferrobot safeHome sc
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
6f3b96e94c
update
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
719b812557
update
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
2905438731
update
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
63a20ed883
BWR关联VFD 设定
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
e1be64ab39
update
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
1b9583412e
update
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
aa2f136a3f
update
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
dff8ca56d1
添加 AsciiDataReceived日志
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
5b95c20106
update axison
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
c64bb8bf37
update
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
94e092fd88
调整实时 chart不展示数据问题
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
2dee2d8f16
优化N2Purge 逻辑
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
930c0d0d5f
update N2purge mode
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
00c5bbf327
Merge branch 'Master_ELK02_Release_Development' of http://git.jetplasma-oa.com/Jet/FurnaceELK into Master_ELK02_Release_Development
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
8fa4ccd9d5
添加安全指令配置
|
пре 1 месец |
 huangping
|
117b86c4e2
尝试修复all set点击bug
|
пре 1 месец |
|
huangping
|
af471c1c25
取消重复设置
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
bc69d60615
保留3位小数
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
ce32494f1f
update
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
0f9aaa1d69
同步仿真
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
7c24d80c1b
门开之后检查是否位移
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
35e7818bf8
隐藏FIMS motiontimeout配置
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
97998f5065
应用fims load overtime
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
13525e2b67
update FIMS load后检查是否wafer移位
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
b49f4700fa
update recipe btn
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
a9dbc21add
Merge branch 'Master_ELK02_Release_Development' of http://git.jetplasma-oa.com/Jet/FurnaceELK into Master_ELK02_Release_Development
|
пре 1 месец |
|
jiangjy
|
6a73ebfc92
_diWaferOnRobot true代表无遮挡，false代表有遮挡
|
пре 1 месец |
