 jiangjy
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ffb3bcb66d
update N2purge check location
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hace 1 mes |
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jiangjy
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51222281ad
update RHCVDFFrequency
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hace 1 mes |
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jiangjy
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19f6ec6d6e
update waferrobot safeHome sc
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hace 1 mes |
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jiangjy
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6f3b96e94c
update
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hace 1 mes |
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jiangjy
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719b812557
update
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hace 1 mes |
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jiangjy
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2905438731
update
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hace 1 mes |
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jiangjy
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63a20ed883
BWR关联VFD 设定
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hace 1 mes |
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jiangjy
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e1be64ab39
update
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hace 1 mes |
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jiangjy
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1b9583412e
update
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hace 1 mes |
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jiangjy
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aa2f136a3f
update
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hace 1 mes |
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jiangjy
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dff8ca56d1
添加 AsciiDataReceived日志
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hace 1 mes |
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jiangjy
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5b95c20106
update axison
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hace 1 mes |
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jiangjy
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c64bb8bf37
update
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hace 1 mes |
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jiangjy
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94e092fd88
调整实时 chart不展示数据问题
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hace 1 mes |
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jiangjy
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2dee2d8f16
优化N2Purge 逻辑
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hace 1 mes |
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jiangjy
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930c0d0d5f
update N2purge mode
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hace 1 mes |
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jiangjy
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00c5bbf327
Merge branch 'Master_ELK02_Release_Development' of http://git.jetplasma-oa.com/Jet/FurnaceELK into Master_ELK02_Release_Development
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hace 1 mes |
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jiangjy
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8fa4ccd9d5
添加安全指令配置
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hace 1 mes |
 huangping
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117b86c4e2
尝试修复all set点击bug
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hace 1 mes |
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huangping
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af471c1c25
取消重复设置
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hace 1 mes |
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jiangjy
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bc69d60615
保留3位小数
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hace 1 mes |
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jiangjy
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ce32494f1f
update
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hace 1 mes |
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jiangjy
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0f9aaa1d69
同步仿真
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hace 1 mes |
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jiangjy
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7c24d80c1b
门开之后检查是否位移
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hace 1 mes |
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jiangjy
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35e7818bf8
隐藏FIMS motiontimeout配置
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hace 1 mes |
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jiangjy
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97998f5065
应用fims load overtime
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hace 1 mes |
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jiangjy
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13525e2b67
update FIMS load后检查是否wafer移位
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hace 1 mes |
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jiangjy
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b49f4700fa
update recipe btn
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hace 1 mes |
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jiangjy
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a9dbc21add
Merge branch 'Master_ELK02_Release_Development' of http://git.jetplasma-oa.com/Jet/FurnaceELK into Master_ELK02_Release_Development
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hace 1 mes |
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jiangjy
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6a73ebfc92
_diWaferOnRobot true代表无遮挡，false代表有遮挡
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hace 1 mes |
