 JET-GZX
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285246cd6a
robot control
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1 周之前 |
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JET-GZX
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0a7f94d6f9
change LP2 wafer count
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1 周之前 |
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intern04
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966b2e6d21
Merge branch 'master' of http://10.4.3.168:3000/JetPlasma/Virgo_Mask
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1 周之前 |
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intern04
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d3a5b3c320
add EfemRobotArmType control
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1 周之前 |
 JET-YDB\JET-YANGDB
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f79574ead6
调试修改
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1 周之前 |
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JET-YDB\JET-YANGDB
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ef6f73344e
1.增加单臂，双臂，Ignore Ionizer error， gas1~5 warning range and time ，双轴伺服pos diff 配置
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2 周之前 |
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intern04
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6247f152b9
add Virgo UI change
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2 周之前 |
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intern04
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a916d81320
Change VirgoUI Langrage
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2 周之前 |
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intern04
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2f1dc5bb0f
Merge branch 'master' of http://10.4.3.168:3000/JetPlasma/Virgo_Mask
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3 周之前 |
 chenkui
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78877e2d5e
修复了EAP中E94 FAControlJob的异常
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3 周之前 |
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JET-YDB\JET-YANGDB
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b49c308376
1.增加自学习文件
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3 周之前 |
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JET-YDB\JET-YANGDB
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fca2bab62f
1.修改双轴电机回到原点的条件
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3 周之前 |
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intern04
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97beaa7e7b
delete Logo
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3 周之前 |
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JET-YDB\JET-YANGDB
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e74a40f753
1.增加腔体自学习
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3 周之前 |
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JET-YDB\JET-YANGDB
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738eac65f7
1.中文改成英文
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1 月之前 |
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JET-YDB\JET-YANGDB
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5b5945bffa
1.把系统配置中文改成英语
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1 月之前 |
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chenkui
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0b5e8dd979
修复了Secegem trace report的异常
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1 月之前 |
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chenkui
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16fb31c283
完成Virgo Marsk EAP替换
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1 月之前 |
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chenkui
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3a110aa215
update RT/UI project property
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1 月之前 |
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JET-YDB\JET-YANGDB
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e07f607f6f
提交代码
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2 月之前 |
