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- 待修复问题:
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- Cluster 系统更新历史记录
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- 2023-7-15 version 1.0.0.9
- 1.add:Heater temp offset by temp point
- 2.工艺说要先check温度,后做pump and pin down
- 3.修改Logo name 可配置
- 4.修改页面显示内容,增加PumpdownPressure功能
- 5.updata pmoverview and gas count config
- 2022-7-5 version 1.0.0.8
- 1. VirgoD的PLC程序中pumping阀与蝶阀开关形成互锁,上位机软件无法实现抽真空、VENT功能。(上位机抽真空、VENT部分逻辑更改与metis一致)
- 2022-5-7 version 1.0.0.7
- 1. Add:Small & Medium guide pin control
- 2022-3-7 version 1.0.0.6
- 1. 增加Edwards泵的配置
- 2020-11-11 version 1.0.0.5
- 1.更新IO
- 2020-11-11 version 1.0.0.3
- 1. 修改ProcessHistory不能正确显示数据的问题
- 2020-10-28 version 1.0.0.1
- 1. 修改DataHistory不能正确显示数据的问题
- 2019-9-8 version 1.0.1
- 1. 初始版本
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