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  1. 
  2. 待修复问题:
  3. ---------------------------------------------------------------------------------
  4. Cluster 系统更新历史记录
  5. ---------------------------------------------------------------------------------
  6. 2023-7-15 version 1.0.0.9
  7. 1.add:Heater temp offset by temp point
  8. 2.工艺说要先check温度,后做pump and pin down
  9. 3.修改Logo name 可配置
  10. 4.修改页面显示内容,增加PumpdownPressure功能
  11. 5.updata pmoverview and gas count config
  12. 2022-7-5 version 1.0.0.8
  13. 1. VirgoD的PLC程序中pumping阀与蝶阀开关形成互锁,上位机软件无法实现抽真空、VENT功能。(上位机抽真空、VENT部分逻辑更改与metis一致)
  14. 2022-5-7 version 1.0.0.7
  15. 1. Add:Small & Medium guide pin control
  16. 2022-3-7 version 1.0.0.6
  17. 1. 增加Edwards泵的配置
  18. 2020-11-11 version 1.0.0.5
  19. 1.更新IO
  20. 2020-11-11 version 1.0.0.3
  21. 1. 修改ProcessHistory不能正确显示数据的问题
  22. 2020-10-28 version 1.0.0.1
  23. 1. 修改DataHistory不能正确显示数据的问题
  24. 2019-9-8 version 1.0.1
  25. 1. 初始版本