待修复问题：

 

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					 Cluster 系统更新历史记录

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2023-7-15 version 1.0.0.9
1.add:Heater temp offset by temp point
2.工艺说要先check温度,后做pump and pin down
3.修改Logo name 可配置
4.修改页面显示内容,增加PumpdownPressure功能
5.updata pmoverview and gas count config

2022-7-5 version 1.0.0.8
1. VirgoD的PLC程序中pumping阀与蝶阀开关形成互锁，上位机软件无法实现抽真空、VENT功能。（上位机抽真空、VENT部分逻辑更改与metis一致）

2022-5-7 version 1.0.0.7
1. Add:Small & Medium guide pin control

2022-3-7 version 1.0.0.6
1. 增加Edwards泵的配置

2020-11-11 version 1.0.0.5
1.更新IO

2020-11-11 version 1.0.0.3
1. 修改ProcessHistory不能正确显示数据的问题

2020-10-28 version 1.0.0.1
1. 修改DataHistory不能正确显示数据的问题

2019-9-8 version 1.0.1
1. 初始版本